芯智讯 on MSN18 小时
中科院成功研发全固态DUV光源技术！
3月24日消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工 ...
Tom's Hardware on MSN4 天
Chinese scientists create 'breakthrough' solid-state DUV laser light source for chipmaking ...
The Chinese Academy of Sciences has developed a light source that produces 193-nm DUV light, but it is years away from ...