3月24日消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工 ...

IT之家 3 月 25 日消息，据国际光电工程学会（SPIE）消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 nm 的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文介绍称，深紫外相干光，尤其是 193 nm 波长的光 ...

研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 nm 的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文介绍称 ...

据国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射193纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。 相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会（SPIE ...

在当今技术飞速发展的时代，每一个突破都意味着新的可能性。最近，中国科学院传来重磅消息：成功研发了一种新的全固态深紫外（DUV）光源技术，发射193nm的激光，为实现3nm超精细芯片制造开辟了新的路径。这一技术的成功不仅是中国集成电路制造技术的一 ...

据国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。 论文已刊登在spiedigitallibrary.org 据报道而这项技术已在中国实验室中实现。

近日，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light），与当前被广泛采用的DUV曝光 ...