在现代工业中，氧化铝（Al₂O₃）凭借其卓越的性能成为应用广泛的材料。作为一种独特的工业涂层材料，氧化铝以其耐高温、耐腐蚀、高硬度和绝缘性著称。与此同时，溅射技术作为物理气相沉积（PVD）的核心工艺之一，能够将高纯氧化铝靶材转化为纳米级 ...