NEOARM” 标配了日本电子独自开发的冷场发射电子枪（Cold-FEG）和全新的高阶球差校正器（ASCOR）。无论是在200kV的高加速电压还是在30kV的低加速电压下，均能实现原子级分辨率的观察与分析。同时还配备了自动像差校正系统，可以自动进行快速准确的像差校正 ...

1．支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的 ...