IT之家3 月 27 日消息，在 SEMICON China 2025 展会期间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（IT之家以下简称“中微公司”）宣布其自主研发的 12 英寸晶圆边缘刻蚀设备 Primo Halona 正式发布。 中微公司介绍称，此款 12 英寸边缘刻蚀设备 Primo Halona 采用其特色的双 ...